美, ASML에 EUV 노광장비 중국 반입 우려 제기

러트닉 장관, ASML 고위진에 직접 문제 제기
ASML "EUV 장비·전용 부품 중국에 보낸 적 없다" 반박

[아이뉴스24 황세웅 기자] 미국 정부가 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비가 중국에 반입됐을 가능성을 제기한 것으로 알려졌다.

미중 반도체 기술 패권 경쟁 속에서 첨단 장비 수출통제를 둘러싼 긴장이 다시 커지는 모습이다.

19일 블룸버그통신에 따르면 하워드 러트닉 미국 상무부 장관은 최근 ASML 고위 임원들과의 회의에서 EUV 장비 1대가 미국 주도의 수출 규제를 위반해 중국으로 넘어갔을 수 있다는 우려를 전달했다.

ASML 홀딩의 EUV 노광 장비 [사진=ASML 홈페이지 갈무리]

EUV 노광장비는 최첨단 반도체 양산에 필수적인 핵심 설비다. TSMC와 삼성전자 등 주요 파운드리 업체들이 첨단 공정에 활용하고 있으며, 인공지능(AI) 반도체와 고성능 프로세서 생산의 기반 기술로 꼽힌다.

ASML은 세계에서 사실상 유일하게 EUV 노광장비를 공급하는 기업이다. 미국과 네덜란드는 중국의 첨단 반도체 제조 역량을 제한하기 위해 ASML의 EUV 장비 중국 수출을 엄격히 통제해왔다.

EUV 장비는 도널드 트럼프 1기 행정부 당시부터 중국 수출이 허용되지 않았다.

러트닉 장관은 회의에서 ASML 측에 EUV 장비와 관련한 우려를 제기한 것으로 알려졌다. 다만 미국 상무부가 실제 EUV 장비가 중국에 있다는 구체적 증거를 제시했는지는 확인되지 않았다.

ASML은 관련 의혹을 부인했다. ASML 측은 EUV 장비를 중국에 선적한 적이 없으며, EUV 장비에 사용되도록 특별히 설계된 부품이나 모듈, 장비를 중국에 보낸 적도 없다고 밝혔다.

ASML은 미국과 네덜란드의 수출통제 규정을 준수하고 있다는 입장이다. 회사 측은 각국 정부와 투명하게 소통하고 있으며, 국가안보상 수출통제 규정의 중요성을 인식하고 관련 법규를 따르고 있다고 설명했다.

블룸버그는 ASML이 워싱턴에서 중국 내 ASML EUV 시스템 징후가 없다는 취지의 자료를 돌렸다고 전했다.

해당 자료에는 전 세계에서 운용 중인 EUV 장비 314대와 폐기된 26대 가운데 중국에 있는 장비는 없다는 내용이 담긴 것으로 알려졌다.

하워드 러트닉 미 상무장관이 경주예술의전당에서 열린 한미 비즈니스 라운드 테이블 및 환영 만찬 참석을 위해 입장하고 있다. [사진=최란 기자]

ASML은 EUV 장비가 고객사에 설치된 이후에도 연결 상태와 이상 작동 여부를 감지할 수 있으며, 고객이 ASML의 개입 없이 장비를 해체하거나 운송·재설치하기는 어렵다는 입장도 제시한 것으로 전해졌다.

EUV 장비는 학교버스 크기에 달하고 무게가 약 180톤에 이르는 대형 설비로, 설치와 유지보수에 ASML의 전문 인력이 필요하다.

미국 고위 당국자들은 ASML이 EUV 장비 운송에 쓰이는 특수 장비나 관련 부품을 중국에 보냈을 가능성을 주장한 것으로 알려졌다.

다만 이들은 관련 증거가 민감한 정보라는 이유로 공개하지 않았고, 실제 EUV 시스템이 중국에 있다는 증거를 확인했는지도 밝히지 않았다.

이번 사안은 미국이 중국의 첨단 반도체 제조 역량을 억제하기 위해 동맹국과의 수출통제 공조를 강화하는 가운데 불거졌다. 미국은 네덜란드와 일본 등 주요 반도체 장비 생산국에 대중국 수출통제 강화를 요구해왔다.

ASML은 중국 사업을 둘러싸고 이미 수년째 규제 압박을 받아왔다. 중국은 ASML의 첨단 장비 접근이 제한되면서 자체 노광장비 개발에 속도를 내고 있지만, EUV 기술 격차는 여전히 큰 것으로 평가된다.

업계에서는 이번 논란이 실제 장비 반입 여부와 별개로 미국의 대중 반도체 통제 강도가 한층 높아지고 있음을 보여준다고 보고 있다.

/황세웅 기자(hseewoong89@inews24.com)

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