신성이엔지, 'SEDEX 2026'서 반도체 공정 특화 라인업 공개

수가습·제습·공조 등 반도체 공정 특화 설비 전시 미세입자 발생·유입 경로 시각화…오염원 진단 기술 시연 [아이뉴스24 권서아 기자] 신성이엔지가 국내 최대 반도체 전시회에서 온·습도 제어부터 오염 관리까지 아우르는 클린룸(청정시설) 솔루션을 선보인다.신성이엔지는 오는 14~16일 서울 코엑스에서 열리는 '제28회 반도체대전(SEDEX 2026)'에 참가한다고 13일 밝혔다.SEDEX 2026 부스 조감도. [사진=신성이엔지]이번 전시에서는 반도체·디스플레이 공정에 특화된 수가습시스템(Water Humidifier System)과 제습 모듈(EDM), 케미컬필터 내장형 팬필터유닛(ICF), 외기공조기(OAC) 등을 공개한다.수가습시스템은 압축공기를 이용해 물을 기화시켜 클린룸 내부 습도를 일정하게 유지하는 장치다. 회사 측에 따르면 수가습 외기공조시스템을 적용하면 기존 증기가습 방식보다 전체 전력 사용량을 30% 줄일 수 있다.EDM은 공기 중 수분을 제거해 정밀 공정에 필요한 낮은 습도를 유지하는 설비다. ICF는 공기 정화 필터를 장치 내부에 설치해 별도의 공간을 확보할 필요가 없다. OAC는 외부에서 유입되는 공기를 정화하고 클린룸 내부의 온·습도와 압력을 유지하는 역할을 한다.전시장에는 미세입자를 눈으로 확인할 수 있는 '미립자 가시화 시연존'도 마련한다. 반도체 생산 과정에서 발생하는 미세입자를 시각화해 오염 발생 위치와 유입 경로를 파악하는 기술이다.손에 들고 사용하는 '핸디형 파티클(미세입자) 가시화 장치'도 선보인다. 기존 장비로 접근하기 어려운 공정 장비 내부의 오염원까지 확인할 수 있어 불량 원인을 찾고 공정 환경을 개선하는 데 활용할 수 있다.신성이엔지는 미국과 유럽, 중국, 동남아시아, 인도 등 주요 반도체 생산 거점에서 해외 사업도 확대하고 있다. 지난 9월 싱가포르에서 열린 '데이터 센터 월드 아시아 2026'에서는 인공지능(AI) 데이터센터 냉각 솔루션을 공개했다.신성이엔지 관계자는 "반도체 공정이 고도화될수록 클린룸의 습도와 청정도, 오염 관리 수준이 제품 경쟁력을 결정짓는다"며 "이번 전시를 통해 습도 제어부터 오염원 진단까지 클린룸 공정 환경 전반을 책임지는 신성이엔지의 기술력을 현장에서 직접 확인할 수 있을 것"이라고 말했다.이어 "반도체와 데이터센터 양 분야에서 쌓아온 기술 경쟁력을 바탕으로 글로벌 시장 공략에 속도를 낼 것"이라고 덧붙였다./권서아 기자([email prot...