中, DUV 국산화 소식에…ASML 주가 5.8%↓

SMIC·CXMT 등에 연내 공급 예정 中 반도체 장비 자립 가능성 주목 [아이뉴스24 박지은 기자] 중국이 자체 개발한 심자외선(DUV) 노광장비 양산에 들어갔다는 보도가 나왔다. 관련 소식이 전해진 뒤 ASML 주가는 5.8% 넘게 하락해 장을 마쳤다.27일 로이터는 기술 전문 매체 더인포메이션을 인용해 중국이 자체 개발한 침지형(Immersion) DUV 노광장비 생산을 시작했다고 보도했다.ASML 기술자가 EUV 장비를 살펴보는 장면. [사진=ASML]상하이 국유기업 중 한 곳인 이 회사는 DUV 장비를 올해 약 5대, 내년에는 20대가량 생산할 것으로 전해졌다. 또 중국 최대 파운드리 SMIC와 화훙반도체, 메모리 업체 창신메모리테크놀로지(CXMT) 등에 공급될 예정이라고 전했다.DUV 노광장비는 반도체 회로를 웨이퍼에 새기는 핵심 장비다. 최첨단 공정에는 극자외선(EUV) 노광장비가 사용되지만, 중국은 미국과 네덜란드의 수출 규제로 EUV를 확보하지 못하고 있다.이에 DUV 장비와 멀티패터닝 기술을 활용해 첨단 반도체를 생산하는 전략을 추진해왔다.시장도 즉각 반응했다. 관련 보도 이후 ASML 주가는 장중 4% 넘게 하락했다. 투자자들이 중국의 장비 국산화가 연구개발 단계를 넘어 실제 생산 단계로 진입할 가능성을 반영한 것으로 풀이된다.다만 업계에서는 중국 장비가 성능과 생산성, 신뢰성 측면에서 아직 ASML과 격차가 있는 만큼 당장 시장 구도를 뒤흔들기는 어려울 것으로 보고 있다.로이터는 중국도 자체 EUV 장비를 개발 중이지만 아직 시제품 단계라고 전했다.중국의 DUV 양산은 반도체 공급망 자립에 의미 있는 진전이지만, 최첨단 공정에서는 당분간 EUV 기술 격차가 이어질 것이라는 분석이 나온다./박지은 기자([email protected]) 포토뉴스